渦輪分子泵
TwisTorr 84 FS
TwisTorr 84 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟性。TwisTorr 技術對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經(jīng)濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證最佳的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度減少系統(tǒng)停機時間，并能確保長時間穩(wěn)定性。TwisTorr 84 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設計，使得泵無需泵油和維護，能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。
特性
- 創(chuàng)新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體能提供高壓縮比，而非常小巧的轉子設計則實現(xiàn)了高性能和最小的系統(tǒng)占用空間。
- 高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
- 安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動，低噪音，最佳的軸承工作條件，延長泵的使用壽命，實現(xiàn)使用維護成本優(yōu)化，最大程度減少系統(tǒng)停機時間，并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。
- 獨有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油，實現(xiàn)任意角度安裝。
- 銅制水冷通道（可選） — 可避免腐蝕，優(yōu)化熱傳遞性能，降低用水量和使用維護成本。
性能指標
技術指標
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抽速 |
KF 40 |
CFF 2.75 英寸 |
ISO 63，CFF 4.5 英寸 |
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氬氣 |
44 L/s |
57 L/s |
66 L/s |
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氮氣 |
49 L/s |
56 L/s |
67 L/s |
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He |
38 L/s |
46 L/s |
63 L/s |
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氫氣 |
36 L/s |
40 L/s |
53 L/s |
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全轉速氣體流量（與推薦前級泵一起使用） |
風冷（25 ℃） |
水冷（25 ℃，65 L/h） |
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氮氣 |
100 sccm |
100 sccm |
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氬氣 |
70 sccm |
70 sccm |
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壓縮比與前級耐壓 |
壓縮比 |
前級耐壓 |
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氬氣 |
> 1.0 x 1011 |
大于 14 mbar |
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氮氣 |
≥ 1.0 x 1011 |
大于 14 mbar |
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He |
2.0 x 106 |
大于 12 mbar |
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氫氣 |
5.0 x 104 |
大于 4 mbar |
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采用推薦前級泵的極限真空 (5 m3/h) |
小于 8.0 × 10-10 mbar（小于 6.0 × 10-10 Torr） |
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抽氣口法蘭 |
CFF 4.5 英寸，ISO 63 |
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CFF 2.75 英寸，KF 40 |
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前級管道法蘭 |
KF16 |
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轉速 |
81000 rpm（1350 Hz 驅動頻率） |
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啟動時間 |
小于 2 分鐘 |
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推薦的前級泵 |
機械： |
Agilent DS-42/102 |
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干式泵： |
Agilent SH-110/IDP-3 |
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工作位置 |
任意 |
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操作環(huán)境溫度 |
5 ℃ 至 35 ℃ |
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空氣的相對濕度 |
0 至 90%（非凝縮） |
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烘烤溫度 |
進樣口法蘭最高溫度 80 ℃（ISO 法蘭） |
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進樣口法蘭最高溫度 120 °C（CFF 法蘭） |
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潤滑油 |
持久潤滑 |
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冷卻要求 |
氣流溫度：（環(huán)境溫度為 5 至 35 ℃） |
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水（如果環(huán)境高于 35 ℃，需強制水冷） |
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水溫： |
15 ℃ 至 25 ℃ |
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最小流量： |
65 L/h (0.30 GPM) |
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柱壓： |
2 至 4 bar（45 至 75 psi） |
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噪聲聲壓級 |
1 米內(nèi)全轉速時，小于 40 dB(A) |
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儲存溫度 |
-40 ℃ 至 70 ℃ |
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最大高度： |
3000 m |
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重量 kg（磅） |
泵用 ISO 63 法蘭 |
2.05 kg |
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泵用 CFF 4.5 英寸 |
3.50 kg |
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泵用 CFF 2.75 英寸 |
3.34 kg |
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泵用 KF 40 英寸 |
2.37 kg |
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符合規(guī)范 |
EMC |
61326-1 |
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安全 (CE/CSA) 法規(guī) |
DIR 2006/42/CE |
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ROHS |
DIR 2011/65/EU |
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抽速曲線圖
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